氏名 : 林 聡洋 (281467146)
所属 : 大野研究室
題目 : ドライエッチング過程で生じる微細パターン構造のうねり座屈解析
概要 :
半導体はあらゆる電子機器に搭載されており、半導体の性能向上が製品の性能向上に
直結する。この半導体の性能向上のために、構造の微細化が進んでいる。この半導体
製造時にはドライエッチングにより山（リッジ）と谷を作成する工程が存在するが、
構造の微細化が進むとリッジ部分に働いている真性応力（残留応力）を原因とするう
ねり座屈が発生する。このうねり座屈は製品の致命的な欠陥となるため、座屈特性の
解明は非常に重要である。
本研究の目的は、従来の研究で明らかとなっていな
かったうねり座屈の波長及び振幅を求めることである。そのために、座屈固有値解析
を行い、発生する座屈モードを特定した。さらに半導体製造時におけるドライエッチ
ング過程の有限要素モデル化を行い、ドライエッチング過程における座屈挙動を再現
し、発生するうねり座屈の振幅を求めた。
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